超精密加工论文

超精密加工机床的关键部件技术 哈尔滨工业大学 盖玉先 董申 1 引言超精密加工机床的研制开发始于20世纪60年代。当时在美国因开发激光核聚变实验装置和红外线实验装置需要大型金属反射镜,因而急需开发制作反射镜的超精密加工技术。

20世纪70年代以来，以激光、电子束、离子束等高能束流为能源的特种加工技术获得了迅速发展和广泛应用。目前以高能束流为能源的特种加工技术和数控精密电加工技术已成为航空产品制造技术群中不可缺少的分支。在难加工材料、

超精密加工当前是指被加工零件的尺寸精度高于μ m,表面粗糙度Ra小于μ m,以及所用机床定位精度的分辨率和重复性高于μ m的加工技术,亦称之为亚微米级加工技术,且正在向纳米级加工技术发展。 超精密加工技术主要包括:

精密与超精密加工技术 随着航空航天、计算机、材料科学、激光和自动控制系统等高科技产业的迅猛发展,综合应用当今先进的加工技术,使机械加工精度已经提高到了μm的亚纳米级,并向纳米级发展。